用(yong)于(yu)現代化電子設(she)備(bei)的單片技(ji)術同樣(yang)可以用(yong)于(yu)制(zhi)作(zuo)壓力傳感器,采(cai)用(yong)單片技(ji)術制(zhi)作(zuo)的傳感器具有很(hen)小的滯后性和很(hen)低(di)的老(lao)化速度。2810氣(qi)壓傳感(gan)器性能優越,它實際上沒有滯后現象、沒有溫度(du)漂移和老化現象。它對機械加速也不敏感(gan),可以從任何位置操(cao)作(zuo),另外(wai)探頭是防水的。
在測量之前,探(tan)頭的小傳(chuan)感元(yuan)件可被加熱到特(te)定(ding)溫(wen)(wen)度,以(yi)減小環境(jing)溫(wen)(wen)度變化造成的誤差。2810氣壓傳感器采(cai)用4×4mm的小型硅芯片(pian)(pian)作為傳感元件,在硅片(pian)(pian)的中央是(shi)一層薄膜,它(ta)一面暴(bao)露于(yu)大(da)氣壓中,另一面是(shi)真(zhen)空。薄膜有4個擴(kuo)散(san)電(dian)阻組成的惠特斯通電(dian)橋,輸出信號與(yu)大氣壓成正比,因此用(yong)該芯片(pian)直(zhi)接測量大氣壓。
芯片上還有一個(ge)溫度傳(chuan)感電阻(zu)和4個加(jia)(jia)熱電(dian)(dian)阻(zu),這些電(dian)(dian)阻(zu)與(yu)外部(bu)控制電(dian)(dian)路相連接,以控制芯片在測量之前被加(jia)(jia)熱并(bing)恒(heng)溫在60°C,這(zhe)樣的(de)好處是允許探頭(tou)有足夠的(de)時間進行溫度穩定。
將硅芯片(pian)加熱到60°C的耗(hao)電(dian)(dian)(dian)情況與(yu)環(huan)境(jing)溫(wen)度(du)相關,環(huan)境(jing)溫(wen)度(du)為60°C時(shi)電(dian)(dian)(dian)耗(hao)為零,環(huan)境(jing)溫(wen)度(du)降(jiang)低,電(dian)(dian)(dian)耗(hao)會線性增大;環(huan)境(jing)溫(wen)度(du)為-40°C時(shi)電(dian)(dian)(dian)耗(hao)約為70毫安。讀數時(shi)探頭停止(zhi)加熱。
(1)注:標準的量程范圍可用于(yu)高度小于(yu)或(huo)等于(yu)海(hai)拔400m的(de)(de)區(qu)域,如果需要安裝到(dao)更高(gao)的(de)(de)地(di)(di)方,在發貨之前需要提前告知廠家安裝地(di)(di)點高(gao)度。氣(qi)壓測量(liang)值與(yu)海(hai)拔高(gao)度之間的(de)(de)關系因子見下表.